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    匯博光學(xué)成功開發(fā)IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡

    
    
    
    
    
    發(fā)布時間：

    
    
    2015-05-15
    

    
    
    
    匯博光學(xué)應(yīng)行業(yè)發(fā)展及市場需求，經(jīng)過兩年多的技術(shù)攻關(guān)成功研發(fā)出了IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，填補(bǔ)該產(chǎn)品的國內(nèi)空白。精密紫外反光鏡是IC光刻系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，還應(yīng)用于光刻機(jī)、紫外曝光機(jī)、紫外固化機(jī)、醫(yī)療設(shè)備和曬版機(jī)等設(shè)備及光顯示和電子等領(lǐng)域。由于設(shè)計制造難度大、工藝技術(shù)復(fù)雜，長期以來只能依賴進(jìn)口。?　　2013年初，匯博光學(xué)成立專項研究小組，有計劃開展IC光刻系統(tǒng)用紫外反光鏡產(chǎn)品研究開發(fā)工作。研發(fā)小組結(jié)合光學(xué)公司多年的反光鏡產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)經(jīng)驗，收集國際前沿技術(shù)信息，自主創(chuàng)新，積極開拓，成功開發(fā)出國際水平的IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品。此產(chǎn)品可耐高溫450℃，利用自主創(chuàng)新工藝實現(xiàn)非球面成形。反射波段范圍在300nm-440nm，反射率大于95%，達(dá)到反射紫外光濾除其他可見光的目的。關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到國際先進(jìn)水平。?　　IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品的成功開發(fā)，不僅填補(bǔ)了該項技術(shù)的國內(nèi)空白，在精密非球面加工和檢測技術(shù)、非球面耐高溫薄膜的鍍制等均獲得技術(shù)突破，IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品開發(fā)項目已經(jīng)申請了沈陽市科技進(jìn)步獎，將有力推動光學(xué)薄膜行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。匯博光學(xué)現(xiàn)已形成口徑55mm-362mm系列IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，近期將推出645nm的大口徑產(chǎn)品。經(jīng)多家客戶試用得到良好反饋并受到市場的歡迎。

    

    
        
            匯博光學(xué)成功開發(fā)IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡
        

    
    
    

    


    　　匯博光學(xué)應(yīng)行業(yè)發(fā)展及市場需求，經(jīng)過兩年多的技術(shù)攻關(guān)成功研發(fā)出了IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，填補(bǔ)該產(chǎn)品的國內(nèi)空白。精密紫外反光鏡是IC光刻系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，還應(yīng)用于光刻機(jī)、紫外曝光機(jī)、紫外固化機(jī)、醫(yī)療設(shè)備和曬版機(jī)等設(shè)備及光顯示和電子等領(lǐng)域。由于設(shè)計制造難度大、工藝技術(shù)復(fù)雜，長期以來只能依賴進(jìn)口。
    


      
    


    　　2013年初，匯博光學(xué)成立專項研究小組，有計劃開展IC光刻系統(tǒng)用紫外反光鏡產(chǎn)品研究開發(fā)工作。研發(fā)小組結(jié)合光學(xué)公司多年的反光鏡產(chǎn)品設(shè)計研發(fā)經(jīng)驗，收集國際前沿技術(shù)信息，自主創(chuàng)新，積極開拓，成功開發(fā)出國際水平的IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品。此產(chǎn)品可耐高溫450℃，利用自主創(chuàng)新工藝實現(xiàn)非球面成形。反射波段范圍在300nm-440nm，反射率大于95%，達(dá)到反射紫外光濾除其他可見光的目的。關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到國際先進(jìn)水平。
    


     
    


    　　IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品的成功開發(fā)，不僅填補(bǔ)了該項技術(shù)的國內(nèi)空白，在精密非球面加工和檢測技術(shù)、非球面耐高溫薄膜的鍍制等均獲得技術(shù)突破，IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品開發(fā)項目已經(jīng)申請了沈陽市科技進(jìn)步獎，將有力推動光學(xué)薄膜行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步。匯博光學(xué)現(xiàn)已形成口徑55mm-362mm系列IC光刻系統(tǒng)精密紫外反光鏡產(chǎn)品，近期將推出645nm的大口徑產(chǎn)品。經(jīng)多家客戶試用得到良好反饋并受到市場的歡迎。